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返回半導體潔凈室凈化工程之設計
無塵室在設計和建造之初很大程度上是因為在設計和建造工廠時走捷徑，盡可能地壓縮前期投入，而不顧后期運行費用。高效率的設計和高效率設備需要很大的前期投入。那種“小處節(jié)約大處浪費”的所謂捷徑和削減成本，會造成工廠的運行性能降低和能耗增加。
對已建成工廠的改建通常會陷入到毫無意義的經濟漩渦當中。升級的投資收回率通常比直接購買新設備要高很多。大部分工廠設備翻新的投資回收期不超過兩年。也就是說，通常投資收回率至少是50%，對照投資新的固定資產，則只有10%到15%（即投資回收期需要七年時間）。這些情況降低了企業(yè)的競爭力和投資股東的興趣。在今天高度發(fā)達的工業(yè)中，無塵車間運行和產品設計一樣需要改革。
高效率地利用能源的例子很多。挖掘浪費的能源比賣產品更能增加利潤，因為節(jié)約下來的錢在效益中馬上就能體現(xiàn)出來。雖然能源的成本占晶片產品成本占不到百分之二，但是電能卻是晶片制造商在運行中的開支卻是很大的，每座工廠每年總共要消耗上百萬美元的電能。在新建工廠時，節(jié)能措施可以節(jié)約資本和建造時間。雖然初步設計報價昂貴，但是經濟翻新的可能性仍然存在。設備翻新的投資回收期不超過兩年，總體而言，在某種程度上投資收回率是較高的。
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